Новосибирские ученые сделали возможным увеличение мощности систем радиолокации

Ученые Института физики полупроводников им.А.В. Ржанова (ИФП, Новосибирск) усовершенствовали процесс выращивания транзисторов, что позволяет увеличить мощность систем радиолокации.

Об этом сообщает ИНТЕРФАКС со ссылкой на пресс-службу ИФП. Основной элемент СВЧ-устройств — транзистор с высокой подвижностью электронов. Для изготовления этих приборов в последнее время применяется нитрид галлия (GaN). Спектр его свойств позволяет уменьшить число транзисторов в каскадах СВЧ-устройств (а, значит, и габариты), увеличить их мощность и обеспечивает стабильность работы при повышенных температурах, наличии радиационного фона. Однако в процессе синтеза в кристаллическую структуру полупроводникового материала GaN встраивается кислород, приводя к нежелательным изменениям электрофизических свойств материала, например, он начинает проводить ток, там, где должен выступать в качестве диэлектрика.

Обычно для того, чтобы избежать этого явления, используется дополнительное введение углерода или железа для захвата лишних электронов или намеренное создание дефектов в начальных слоях нитрида галлия. Оба этих способа могут приводить к ухудшению параметров проводящего элемента транзистора и, как следствие, снижению мощности прибора.

Ученые ИФП нашли вариант решения проблемы, манипулируя условиями роста кристалла, не добавляя никаких примесей и сохраняя структурное совершенство слоя нитрида галлия, рассчитав оптимальные параметры роста для создания буферного слоя с высоким электрическим сопротивлением. В дальнейших планах ученых — апробация технологического процесса на новой более современной автоматизированной и производительной установке для синтеза нитридных гетероструктур.

Рубрики и ключевые слова